일반기술

전기광학 플리머 광 도파로 편광 무의존 광 변조기 및 그 제작방법

본 발명은 전기광학 폴리머 광 도파로 편광 무의존 광 변조기 및 그 제작방법에 관한 것으로서, 전기광학 폴리머를 재료로 하여 횡전기(TE) 및 횡자기(TM) 모드를 동일하게 도파시키는 채널 광 도파로를 산소 반응 이온 식각공정으로 제작하고 전장 폴링 공정을 통하여 광 도파로의 광축을 기판 면에 대해 반시계방향으로 45。, 시계 방향으로 45。 형성시킬 수 있는 길이가 동일한 두 종류의 전극을 직렬로 연결하여 입력광의 편광상태에 무관하게 동작하는 전기광학 폴리머 광 위상 변조기 및 이와 같은 광 위상 변조기를 마하젠더 간섭계의 양쪽 도파로 위에 둠으로 인해 입력광의 편광상태에 무관하게 동작하는 전기광학 폴리머 광 강도 변조기를 고안함으로써, 편광 의존성이 없는 고속 광 변조기에 대한 필요성이 점차 증가함에 따라 본 발명과 같은 편광 무의존 전기광학 광 위상 변조기나 광 강도 변조기의 수요가 크게 증가하고, 본 발명에서 고안한 전극 구조는 진행파형으로 설계가 가능하므로 고속 광 변조기를 제작하는데 유리한 효과가 있다.전기광학 폴리머를 재료로 하여 횡전기(TE) 및 횡자기(TM) 모드를 모두 도파시키는 채널형 광 도파로와; 상기 채널형 광 도파로의 광축을 기판 면에 대하여 상기 채널형 광도파로의 일부 영여겡서는 반시계 방향으로, 나머지 영역에서는 시계방향으로 45°각도를 형성시켜 상기 두 영역에서의 광축이 서로 수직을 이루게 하여 입력광의 편광상태에 무고나하게 동일한 위상 변화를 수행하도록 길이가 동일한 두 종류의 전극이 직렬로 연결되어진 전장 폴링용 전극으로 구성된 것을 특징으로 하는 전기광학 폴리머 광도파로 편광 무의존 광 위상 변조기.