일반기술

반도체 미소유체 제어 소자 및 이것을 이용한 반도체 미소유체 제어 회로

기존의 미소화학분석 시스템을 대표하는 분석 장치의 미소유체 제어에는 마이크로 머쉬닝을 이용하여형성한 마이크로 벌브가 이용되었다. 이 기술은, 집적화 된 유로 안의 압력에 의해 직접 유량을 제어함에 있어서 그 구성요소로서 필요한 유체제어 소자를 제공한다. 센서를 통해 유량을 전기 신호로 변환할 필요가 없고 유로의 압력으로 유량을 제어하는 기구를 간편하게 실현할 수가 있다. 본 발명의 적용에 의해 DNA팁이나 각종 유량 분석 시스템의 기능을 획기적으로 향상시키고 한편으로 시스템 전체의 구성을 크게 간략화 시킬 수 있다."이 기술에 의해 반도체미소유체제어소자는 하면기체와 상면기체, 그 사이에 배치되는 반도체 기반을 갖추고 반도체 기반에 다이어프램과 그 뒷면에 통하는 게이트 압력유로를 형성, 상면기체의 소스로 통하는 유로와 다이어프램에 면한 유체 통로를 차단하는 형태로 형성된 평평한 장벽과 드레인으로 통하는 유로를 형성한다. 게이트에 가하는 압력을 변환시켜 연속적으로 변화시킬 수가 있기 때문에 유체의 유량도 연속적으로 가변 제어 할 수 있다.또 유로망 안에 포함된 다수의 유량을 제어하는 기구를 간편하게 실현할 수 있다.