일반기술

액정 포토 마스크, 이를 이용한 패턴 노출 방법, 패턴 노출 장치 및 DNA팁의 제조 방법

이 기술은 액정식 포토 마스크, 이를 이용한 노출 패턴 방법, 패턴 노출 장치 및 DNA팁의 제조 방법을 제공한다. DNA팁을 기반 위에서 직접 합성할 경우, 다수의 포토 마스크가 필요한 경우, 설계 변동에 의해 마스크 패턴을 변경할 필요가 있을 때 하나의 액정식 포토 마스크에 의해 많은 마스크 패턴을 쉽게 실현 시킬수 있다.미리 필요한 패턴 데이터를 작성하여 기억부에 기억 시키므로써 쉽고 빠르게 다른 종류의 마스크 패턴의 매트릭스 화상을 만들 수 있다.본 발명 액정식 포토 마스크는 매트릭스 식 액정 소자와 수 많은 마스크 패턴을 전자식 패턴 데이터로 기억하는 기억부와 기억부에서 읽어내는 패턴 데이터에 기초한 매트릭스 식 액정 소자를 구동 제어하는 제어부를 포함하고 있는 것을 특징으로 한다. 조명광을 비추는 조명광학계와 조명 광학계에서 조명광의 통로 안에 배치한 포토마스크로 구성된 노광 제어계, 노출 광학계를 포함한 노출 장치, 포토마스크가 패턴 데이터로 기억되는 기억부, 매트릭스 식 액정 소자를 구동제어 제어부로 패턴 노출 장치를 구성한다.