일반기술

자외선(UV)과 진공 자외선(VUV) 엑시 램프

엑시램프는 Eximer 분자 자연 붕괴(엑시머, -from engl. - 이종핵 분자가 획득[for e.g., XeF*]될 경우 여자(勵磁) 상태에 있는 복합체[exciplex]) 또는 exciplex 분자(exciplex, -from engl. 여자 상태에 있는 이합체[엑시머] - 우리가 유사한 원자[for e.g., Ar2*]로 이루어진 분자에 대해 이야기 할 때는 여자 상태에 있는 이합체를 말하는 것이다)의 영향으로 빛을 내는 방출 램프의 하위 제품 중 상당히 새로운 제품의 하나이다. 분리된 원자 내에서 자연 붕괴하는 엑시플렉스(Exciplex)는 주어진 복합체 광양자의 외부 표준 조명과 수반하여 일어난다. 엑시램프는 자외선과 진공 자외선 스펙트럼 범위 내에서 빛을 발한다. 엑시머 또는 엑시플렉스-exciplex 분자 방사 스펙트럼의 표준 폭은 5~15nm을 초과하지 않는다. 따라서 엑시램프는 폭이 좁은 UV 방사선 대역을 공급원으로 한다. 본 기술의 적용이 가능한 분야는 아래와 같다.- 얇은 금속 필름의 침착- 비결정 반도체의 광전자침전- 얇은 절연체 층의 광전자침전- 폴리머의 광전자 에칭- 액체와 공기의 정화- 유기체 물질의 저온 산화다른 방사선 공급원과 비교해 본 기술 개발 제품의 출력 파라미터가 훨씬 앞선다. <엑시램프 상세 내용>- 여러 가지 소형 엑시램프의 생산이 가능하다.- 러시아 과학 아카데미 시베리아 분과 고전류 전자공학 연구소의 광학 방사선 실험실에서 여러 가지 타입의 엑시램프가 제작되었다. 현재까지 다음의 파라미터는 획득되었다. - 빛 방출 엑시램프의 파워 조밀도는 분자 KrCl*(~222nm), XeCl*(~308nm)은 200 mW/cm2까지이고, 분자 Cl2*(~258HM)은 25mW/cm2까지이다. 엑시램프는 원주 모양과 공축의 구조를 가진다.(엑시램프 구조는 특허가 되어있다) 불투과성 방출 엑시램프의 파워 조밀도는 분자 KrCl*(~222nm)이 10~60 mW/cm2이다. 엑시램프는 공축의 구조를 가진다. - 전기용량 방출 엑시램프의 파워 조밀도는 분자 KrCl*(~222nm), XeCl*(~308nm), XeBr*(~283nm)은 3~20 mW/cm2, 요오드 증기와 크세논 혼합물 내 1원자로 된 요오드 라인(~206nm)은 6 mW/cm2까지 이다. 엑시램프는 원주모양과 U자 구조를 가진다. - 엑시램프의 서비스 기간을 연장하기 위한 작업은 진행 중이다. 그리고, 1W-KrCl-엑시램프의 사용기간은 2500시간 이상이다. - 전기용량 방출 엑시렘프는 동사에 의해 최초로 개발되었다. 동사의 연구실은 2000년부터 엑시램프 적용을 이한 연구와 조사를 실행하기 시작했다.