일반기술

최적화된 초광대역의 미세가공된 초음파 트랜스듀서

본 기술에 따른 최적화된 초광대역 미세가공 초음파 트랜스듀서(MUT)는 기체(예; 공기) 및 액체(예; 물) 모두에 작용하는 초음파 트랜스듀서의 새로운 형태를 제공한다. MUT의 기본원리는, 공기 초음파를 검출하고 발산하는 효과적인 방법으로, 바로 관성이 적은 공진 멤브레인을 사용하는 데 있다. 이렇게 하면, 공기 분자 파장의 약 절반 정도를 가지는 운동량으로 이 멤브레인을 동작상태 또는 그 반대로 설정할 수 있다. 정전작용 및 검출이 이러한 멤브레인의 구현과 제어를 가능케하여 광대역 통신망의 고출력을 구현 할 수 있다.본 기술의 특징은 광대역이며 고출력이고 높은 절대감도를 유지하는 것이며, 미세 제작된 광대역 초음파 트랜스듀서는 기판, 절연 서포트에 의해 기판으로 부터 이격되어 지지되며 그것의 공진주파수에 따라 선택된 각각의 사이즈를 가진 다수의 공진 멤브레인, 멤브레인과 기판 사이에 전압을 인가하는 수단을 포함한다. 또한 멤브레인은 질화규소로 구성되며 절연 서포트는 산화규소나 파릴렌(parylene)으로 구성됨을 특징으로 하는 것이다.