일반기술

미세가공된 초음파 누설파 에어 트랜스듀서

전형적인 초음파 기기은 트랜듀서를 사용하여 초음파를 여기시키고 이 초음파를 어떤 타겟 매질로 보내게 되는데, MHz 범위의 커다란 주파수 범위로 공기 중의 매질로 어떻게 보내느냐에 커다란 어려움이 있다. 이러한 문제점을 해결 하기 위하여 본 기술은, 주위를 에워싼 유체 매질(가장 접합하기로는 공기)로 초음파 에너지를 효과적으로 전달하기 위하여 제공된 것으로, 미세가공된 박판에서 최저급의 비대칭 램파(Lamb wave) 모드의 높은 에너지 누설을 사용하는 소자 및 그 제조기술에 관한 것이다. 이 소자로 MHz 주파수 범위의 광대역의 효율적 동작이 가능하다. 제조 방법은 현행 실리콘 미세가공 기술 및 IC 기술로도 가능하다.1. 광대역폭에서 고효율2. 미세가공 기술을 활용3. 높은 누설 효율 및 광대역폭은 낮은 오더의 비대칭 램파을 누설판에서 선택된 주파수로 다양한 엑추에이터를 사용하여 여기시킴으로써 달성된다.4. 누설파를 인터셉트하기 위해서는 리플렉터 구조물이 채용될 수 있으며, 누설파를 누설판의 평면과 수직인 빔으로 변형시킨다5. MHz 주파수 범위의 광대역의 효율적 동작이 가능하다. 6. 현행 실리콘 미세가공 기술 및 IC 기술로도 가능하다.