일반기술

고성능 평면형 압전 가속도계

본 발명은 가속도계 기판의 평면과 평행한 방향으로 가속도를 측정하기 위한 초소형 고성능 평면형 압전 가속도계에 관한 것이다. 본 발명의 고성능 평면형 압전 가속도계는 깊은 반응성 이온 식각법과 경사 이온 주입법을 이용하여 제조된다. 상기한 고성능 평면형 압전 가속도계는 수축 격리대, 상기 수축 격리대에 부착되는 굴곡부, 및 상기 굴곡부에 부착되는 증거체를 포함한다. 상기한 수축 격리대는 패키징과 온도변화로 인한 기판의 수축으로부터 굴곡부를 격리시킨다. 압전체는 굴곡부의 일측에 형성된다. 상기한 가속도계의 원형은 최저가의 상업용 가속도계로 이루어진 성능 파라미터를 제공하며, 머지않아 상당한 개선을 기대할 수 있을 것이다.본 발명은 가속도계 기판의 평면과 평행한 방향으로 가속도를 측정하기 위한 초소형 고성능 평면형 압전 가속도계에 관한 것으로, 반응성 이온 식각법과 경사 이온 주입법을 이용하여 제조되며 또한 본 발명은 고성능 평면형 압전 가속도계는 수축 격리대, 상기 수축 격리대에 부착되는 굴곡부, 및 상기 굴곡부에 부착되는 증거체를 포함하여 이루어져 , 1. 상기한 고성능 평면형 압전 가속도계는 고도의 가속 감지능력을 가지고 있으며, 온도변화로 인한 오류를 비교적 발생시키지 않는다. 2. 제조과정이 단순하여 제작하기가 용이하다.3. 제작비가 적게 드는 특징이 있다.