일반기술

비구면 솔리드 이머젼 렌즈

본 기술은 비구면 솔리드 이머젼 렌즈(SILS; solid immersion lens)의 제작기술 및 표면 위에 렌즈를 포지셔닝하는 방법에 관한 것이다. 또한 미세가공된 솔리드 이머젼 렌즈를 사용한 부근 영역 광 스캐닝 시스템이다. 이러한 렌즈는 다양한 크기로 제작될 수 있으며, 이와 달리 극소형의 렌즈는 멀티플 어레이(multiple arrays)로 제작되기도 한다. 또한 이러한 렌즈는 캔티레버 상에 놓여져 기판에 대한 렌즈의 초정밀 위치결정 및 높이 제어를 가능케 한다.1. 포토리소그래피의 종래의 방법을 사용하여 비구면 솔리드 이머젼 렌즈의 제작 가능.2. 대량생산 및 렌즈의 멀티플 어레이가 가능.3. 실리콘 또는 질화규소제 솔리드 이머젼 렌즈는 얇고 플랙시블한 실리콘 또는 질화규소 지지대, 및 곡면의 맞은 편 포인트와 입사광 방사의 초점을 맞추기 위한 플랙시블한 지지대와 일체구조로 되고 곡면을 구비.4. 멀티플 어레이(multiple arrays)의 극소형 렌즈 제작 용이5. 렌즈의 초정밀 위치결정 및 높이 제어가능