일반기술

반도체 공정장비의 웨이퍼 이송용 지지대

본 기술은 반도체 공정장비에 있어서, 웨이퍼 이송을 위한 재사용 가능한 지지대를 제공한다. 이 웨이퍼 지지대는 처리 공정 중인 웨이퍼를 지지하는 딱딱한 재질의 디스크이다. 이것의 구조와 재질면에서 대부분의 에칭툴에서 불 수 있는 웨이퍼 클램핑기구와 함께 사용될 수 있도록 구성 되어 있다. 이것은 웨이퍼를 척(chuck)에 정확히 일치시키며, 후면 직접냉각은 선택사양으로 가능하다. 공정챔버 속으로 이송되는 동안 로봇 전달기구에 의해 홀드(hold)되는 환형의 돌출부는 디스크부재의 하부에 있다1. 이 웨이퍼 지지대는 딥-투-스루(deep-to-through) 웨이퍼 에칭과 관련하여 발생될 수 있는 많은 문제점들을 해소한다. 2. 공정 진행 중인 웨이퍼의 후면에 가해지는 제한이 거의 없기 때문에 공정의 유연성을 크게 향상시켜 수율의 증가에 기여하게 된다. 3. 이 웨이퍼 지지대가 정전식 및 기계식 클램프에 사용될 수 있도록 공정 중의 웨이퍼는 링으로 고정된다.4. 로봇 이송기구에 의해 홀드되는 돌출부는 표준 사이즈의 웨이퍼를 홀드하도록 설계된 공정장비에 맞춰져 있다.