일반기술

기류에서 입자를 제거하기 위한 가상 임팩터 및 이를 이용하는 방법

본 기술은 기류에서 입자들을 분류하여 제거하기 위한 장치에 관한 것으로써, 직경이 0.1 마이크로미터인 문턱크기를 가지는 가상 임팩터를 제공한다. 이 가상 임팩터는 실제 기류 유속으로 동작하며 기류의 가스 성분으로부터 기류의 모든 입자를 분류한다. 공기역학적 크기에 근거한 입자 분류는 사이클론, 원심분리기, 임팩터 등을 이용하여 이루어진다. 원심분리기와 임팩터가 입자포획에 널리 사용되지만 입자 바운스, 포획된 입자의 기류로의 재진입, 임팩터 단계 사이의 장벽 손실 등 문제점이 있다.본 기술은 소정의 크기를 가지는 입자를 제거하기 위한 방법에 관한 것으로 일반적으로, 입자를 포함한 공기의 분사는 포획 프로브가 위치한 하류로 가속되어 가속 노즐과 프로브 사이에 작은 간격이 존재하게 된다. 이 작은 간격을 통해 기류의 대부분이 편향되도록 진공이 가해진다. 커트 포인트로 알려진 임계크기보다 큰 입자들은 충분한 운동량을 가지게 되어 편향된 유선을 가로질러 포획 프로브로 진입하는 반면, 작은 입자들은 편향된 기류를 따라간다. 한편, 더 큰 입자들은 기류 중에서 적은 부분에 인가된 진공의 크기에 따라 포획 프로브로부터 제거된다.