일반기술

프로젝션 리소그래피용 마이크로 렌즈 및 그 제조방법

본 기술은 적어도 수 제곱센티미터의 넓은 영역에 간단하고 반복적인 마이크로 패턴을 저가로 생산할 수 있는 리소그래피 기술을 제공한다. 마이크로미터의 렌즈들의 어레이를 사용하여 렌즈 어레이로부터 마이크로미터 거리 내에 위치하는 영상면에 광학 패턴 어레이를 생성한다. 영상면에 위치한 포토레지스트층은 패턴들을 기록한다. 서로 다른 크기와 모양, 서로 다른 성분과 굴절률을 가지는 마이크로렌즈들은 해당 패턴을 노광 및 현상된 포토레지스트에 생성한다. 마이크로렌즈 어레이를 포함하는 다른 형태의 광학 소자들은 한번의 노광으로 넓은 영역에 균일한 마이크로 패턴들을 생성하도록 제조된다.본 기술은 렌즈 어레이를 사용하여 렌즈 어레이로부터 마이크로미터 거리 내에 위치하는 영상면에 광학 패턴 어레이를 생성하고, 영상면에 위치한 포토레지스트층은 패턴들을 기록할 수 있도록 하며, 서로 다른 크기와 모양, 성분 및, 굴절률을 가지는 마이크로렌즈들을 이용하여 해당 패턴을 노광 및 현상된 포토레지스트에 생성하도록 한 것을 특징으로 한다. 본 기술에 의해 생성된 2차원의 마이크로 패턴 어레이는 주파수 선택 표면, 평판 디스플레이, 칼러 필터, 격자, 메모리 장치, 센서 어레이 및 바이오칩과 같은 간단하고 반복적인 어레이를 필요로 하는 응용분야에서 유용하게 사용될 수 있다. 본 기술은 기존의 포토리소그래피 기술에 비해 간단하면서도 저가인 것이 특징이다.