일반기술

카본 나노 튜브 장치 제조방법

카본 나노 튜브(CNT)는 독특한 전기적 기계적 특성에 대한 많은 연구가 진행되어 왔으며 새로운 나노 스케일 전기회로에서 기초로써 제안되어왔다. 본 기술은 카본 나노 튜브를 회로에 우수한 전기적 접촉으로 장착하도록 하는 방법에 관한 것이다. 미리 선택한 방향으로 단일 벽형태 또는 다중 벽형태로 현대의 반도체 제조 기술과 호환가능한 모든 방법으로 미리 선택한 위치 사이에 탄소 나노 튜브를 성장할 수 있다. 주요 기술은 기상 증착공정을 통해 기판상에 (금속성인 철과 같은) 촉매층을 형성하고 기존의 리소그래피 기술을 이용하여 촉매층을 패터닝하는 것이다.본 기술은 카본 나노 튜브를 우수한 전기적 접촉 특성을 가지면서 회로에 장착할 수 있도록 하는 것을 특징으로 한다. 특히, 기상 증착공정을 통해 회로 기판상에 (금속성인 철과 같은) 촉매층을 형성하고 리소그래피 기술을 이용하여 촉매층을 형성하는 것데 특징이 있다. 본 기술은 간극이 촉매 영역에 존재하는 경우의 장치 제조에 가장 유용하게 사용될 수 있다. 촉매층의 두께는 단일 벽형 탄소 나노 튜브를 형성할지 다중 벽형 탄소 나노 튜브를 형성할지를 제어한다. 전계는 성장을 관리하는데 사용될 수 있다. 본 기술은 기판상에 탄소 나노 튜브를 성장시키고 간극 위에 부유하는 탄소 나노 튜브를 제조하는 방법을 제공한다.