중공관 단위체로 구성된 음극을 포함하는 질화처리용 플라즈마 장치 및 그를 이용한 플라즈마 질화처리 방법(Plasma apparatus for nitridation having hollow tube units and method of plasma nitridation using the same)

기술정보

기술분류

기계

보유기관

한국생산기술연구원

기술유형

기부·나눔 기술

등록일

2024-03-18

데이터 갱신일

정보 없음

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