습식에칭법을 이용한 실리콘 웨이퍼 복합구조 및 이의 제조방법(Silicon wafer of mixed structure using wet etching process and preparing thereof)

기술정보

기술분류

에너지·자원

보유기관

한국생산기술연구원

기술유형

기부·나눔 기술

등록일

2024-03-18

데이터 갱신일

정보 없음

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