기부·나눔 기술 하드마스크용 화합물 및 이를 포함하는 하드마스크 조성물 기술정보 기술분류 정보 없음 보유기관 한국생산기술연구원 기술유형 기부·나눔 기술 등록일 2023-04-10 데이터 갱신일 정보 없음 상세설명 정보 없음 관련 특허 하드마스크용 화합물 및 이를 포함하는 하드마스크 조성물 출원번호 1020100032881