기부·나눔 기술 산화막 제거 및 활성산소 처리를 통한 고품질의 흑린 박막 제조방법 기술정보 기술분류 기계 보유기관 한국표준과학연구원 기술유형 기부·나눔 기술 등록일 2023-04-10 데이터 갱신일 정보 없음 상세설명 정보 없음 관련 특허 산화막 제거 및 활성산소 처리를 통한 고품질의 흑린 박막 제조방법 출원번호 1020150172253