기부·나눔 기술 서셉터 온도 균일도 평가방법, 장치 및 시스템 기술정보 기술분류 기계 보유기관 호서대학교 산학협력단 기술유형 기부·나눔 기술 등록일 2022-02-07 데이터 갱신일 정보 없음 상세설명 정보 없음 관련 특허 서셉터 온도 균일도 평가방법, 장치 및 시스템 출원번호 1020140010536