일반기술

고순도 단일 동위 원소 규소-28의 생산

고순도 단일 동위원소 규소의 생산과 그것의 성질에 관한 연구문제는 규소의 순도가 증가함에 따라 더욱 더 긴급해지고 있다. 전하 담체(carrier)와 열 전도도의 이동성은 자연적 동위원소 합성물과 유사 순도를 가진 표준 SI에 비교할 때 고순도 단일 동위원소 28Si에서 증가할 것으로 기대할 수 있다. 열 전도도와 전류 담체 이동성의 증가, 규소 내의 변형 도핑(doping)의 단순화와, 아주 중요한 재료는 고순도 단일 동위원소 규소에 기초하여 만든 도구의 조작 파라미터를 개선하게 할 것이다. 고순도 단일 동위원소 규소의 생산에 관한 자료는 가용하지 않다. 본 프로젝트의 실현은 고순도 에피택셜(epitaxial)층과 단일 동위원소 규소의 단일 결정의 생산 방식을 개발할 수 있게 할 것이다.자연 동위원소 합성물과 유사 순도를 가진 규소에 비교할 때 고순도 단일 동위원소 규소-28에서 전하 담체의 이동성과 열전도도의 증가를 기대할 수 있다. 열전도도와 전류 담체 기동성의 증가와 변형 도핑 공정의 단순화는 대규모와 초대규모 집적 마이크로 회로를 포함하여 많은 도구의 조작 파라미터를 현저히 개선하게 할 것이다.