일반기술

금속 산화물 형성을 위한 액체 전구물질

금속 산화물 필름은 금속 베타-디케톤네이트, 산소 또는 다른 산소원의 증기 전구물질 혼합물을 증착하여 제조하여왔다. 혼합된 알루미늄 베타-디케톤네이트로 형성된 액체 혼합물은 2,6-디메틸-3,5-헵탄디오네, 2,7-디메틸-3,5-헵탄디오네, 2,6-디메틸-3,5-옥탄디오네, 2,2,6-트리메틸-3,5-헵탄디오네, 2,8-디메틸-4.6-노난디오네, 2,7-디메틸-4,6-노난디오네, 2,2,7-트리메틸-3,5-옥탄디오네, 및 2,2,6-트리메틸-3,5-옥탄디오네 등의 리간드 혼합물로 파생된다. 이러한 액체 혼합물은 섭씨 180도까지 예열된 질소 가스에 분사될 수도 있다. 결과적인 증기 혼합물은 동일한 유속의 예열된 건조 공기와 혼합되고 약 섭씨 600도로 가열된 기판 위로 흘려보낸다.본 기술은 금속 산화막(Formation of Metal Oxides) 형성을 위한 액체 전구물질(Liquid Precursor)에 관한 것으로, 본 기술에 따른 공정은 기판 상에 고순도 투명 알루미늄 산화막(high-purity, transparent aluminum oxide film)을 증착할 수 있다. 해당 공정들은 바륨, 스트론튬, 칼슘, 마그네슘, 티타늄, 지르코늄, 탄탈늄, 크롬, 철, 코발트, 구리, 아연, 납, 비스무트, 이트륨, 란탄, 및 많은 다른 금속들의 산화물로 이루어진 막을 증착하는 데 사용될 수 있다.