일반기술

냉각시스템을 구비한 단결정 성장장치

본 발명에 따른 냉각시스템을 구비한 단결정 성장장치에 의하면, 효율적인 냉각시스템을 구비하여,단결정 성장시 고열에 의해 단결정 성장이 저해되는 것을 방지함으로써 단결정체의 품질이 향상되고, 결정성장에 적합한 온도설정이 용이하며, 작동시 진동발생이 감소되는 효과를 얻을 수 있다.기술 특징으로는 챔버; 상기 챔버 상부에 설치되어 상하로 승강하는 승강장치부; 상기 챔버 내부에 수용되고, 내부에 결정성장을 위한 원료시약이 담겨져 있으며 열발생장치에 의해 가열됨으로써 상기 원료시약을 용융시키는 도가니를 갖는 냉각시스템을 구비한 단결정 성장장치에 있어서, 상기 승강장치부는, 수직방향으로 설치되는 다수의 가이드바; 상기 가이드바에 의해 가이드되어 수직방향으로 승강하는 승강판; 상기 승강판 상에 설치되는 회전용 모터; 상기 승강판과 일체로 상하로 승강하고 상기 회전용 모터에 의해 고속으로 회전하며 그 하부말단부에 형성된 시드결정 이 상기 도가니 내부로 들어가서 상기 원료시약과 함께 단결정을 형성하는 승강봉을 포함하고, 상기 승강봉은 외통과, 상기 외통 내부에서 고속회전하는 내통을 포함하고, 냉각수가 상기 내통 및 상기 외통 사이를 순환함으로써, 상기 승강봉을 냉각시키는 것을 특징으로 하는 냉각시스템을 구비한 단결정 성장장치.챔버; 상기 챔버 상부에 설치되어 상하로 승강하는 승강장치부; 상기 챔버 내부에 수용되고, 내부에 결정성장을 위한 원료시약이 담겨져 있으며 열발생장치에 의해 가열됨으로써 상기 원료시약을 용융시키는 도가니를 갖는 냉각시스템을 구비한 단결정 성장장치에 있어서, 상기 승강장치부는, 수직방향으로 설치되는 다수의 가이드바; 상기 가이드바에 의해 가이드되어 수직방향으로 승강하는 승강판; 상기 승강판 상에 설치되는 회전용 모터; 상기 승강판과 일체로 상하로 승강하고 상기 회전용 모터에 의해 고속으로 회전하며 그 하부말단부에 형성된 시드결정 이 상기 도가니 내부로 들어가서 상기 원료시약과 함께 단결정을 형성하는 승강봉을 포함하고, 상기 승강봉은 외통과, 상기 외통 내부에서 고속회전하는 내통을 포함하고, 냉각수가 상기 내통 및 상기 외통 사이를 순환함으로써, 상기 승강봉을 냉각시키는 것을 특징으로 하는 냉각시스템을 구비한 단결정 성장장치.