일반기술

스퍼터링을 이용한 나노 유체의 제조 방법 및 제조장치

본 발명은 상기와 같은 문제점들을 해결하기 위한 것으로, 본 발명의 목적은 원주형 마그네트론 스퍼터링 소스를 이용하여 분산 특성이 뛰어나며 다양한 재료를 이용하여 나노유체를 제작 할 수 있는 제조 방법 및 제조 장치를 제공하는 것이다. 기술특징으로는 본 발명은 나노유체 제조 장치 및 방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 진공 챔버내의 마그네트론 스퍼터링 장치를 이용하여 나노사이즈의 입자를 발생시킴과 동시에 유체 속에 나노 입자를 분산시켜 나노유체를 단일 공정으로 제작하는 장치 및 제작 방법에 관한 것이다. 본 발명의 제조 방법 및 제조 장치에 의해서 제조된 나노유체는 단일공정으로 제조되기 때문에, 기존에 이미 제작되어진 나노입자를 유체 내에 분산시키는 이중 공정으로 제조되어진 나노 유체 보다 분산 특성이 우수하여 나노 유체의 열전달률 향상, 윤활성 촉진 등 광범위한 용도로 우수하다는 장점이 있다.본 발명은 나노유체 제조 장치 및 방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 진공 챔버내의 마그네트론 스퍼터링 장치를 이용하여 나노사이즈의 입자를 발생시킴과 동시에 유체 속에 나노 입자를 분산시켜 나노유체를 단일 공정으로 제작하는 장치 및 제작 방법에 관한 것이다. 본 발명의 제조 방법 및 제조 장치에 의해서 제조된 나노유체는 단일공정으로 제조되기 때문에, 기존에 이미 제작되어진 나노입자를 유체 내에 분산시키는 이중 공정으로 제조되어진 나노 유체 보다 분산 특성이 우수하여 나노 유체의 열전달률 향상, 윤활성 촉진 등 광범위한 용도로 우수하다는 장점이 있다.