일반기술

웨이퍼의 연마율을 제어하는 방법 및 이 방법을 수행하는 화학기계적 연마장치

웨이퍼의 연마율을 제어하는 방법 및 이 방법을 수행하는 화학기계적 연마장치에 관한 기술이다.연마부에서 발생되는 적외선을 측정할 수 있는 센서와 그리고 적외선빔을 발생시켜 연마부에 적외선빔을 조사하여 국부적으로 연마부의 온도를 상승시킬 수 있는 온도 제어수단으로서 적외선 발생장치 및 반사 조절장치를 포함하고 있는 온도 제어수단에 의해, 연마 중에 연마되는 연마부의 온도를 측정함과 동시에 연마부의 온도를 제어하여서 웨이퍼의 연마율을 제어하는 것으로 되어 있고, 그 화학기계적 연마장치는 적외선이 투과될 수 있는 투과창의 상부에 웨이퍼의 온도를 국부적 혹은 전면적으로 측정할 수 있는 적외선 센서인 카메라가 구비되어 있고, 연마헤드의 상부에 제어수단에 의해 적절한 온도를 발생시키는 적외선 발생장치와 제어수단에 의해 적외선을 웨이퍼 면에 국부적으로 주사할 수 있는 반사 조절장치가 구비되어 있다.웨이퍼를 가압하는 방식이 공압에서 발생하는 정수압을 이용하여 웨이퍼 뒷면을 부가적인 기구없이 직접 가압하는 방식을 취하여, 웨이퍼 전면에 균일한 압력을 전사시킬 수 있다.웨이퍼와 접촉하는 부가적인 기구가 없기 때문에 접촉에 의한 오염을 최소화 시킬 수 있다.연마 테이블위에 연마패드가 부착되고, 웨이퍼를 부착한 연마헤드에 소정의 압력을 가한 상태에서, 화학적 반응성을 가지는 연마액을 연마액 탱크로부터 펌프를 통하여 연마액 공급라인을 거쳐 연마패드 위로 공급하며, 연마헤드 및 연마테이블을 같은 방향으로 소정의 속도로 회전시키면서 서로 상대운동시켜서 웨이퍼를 연마하는 화학기계적 연마장치에서 웨이퍼의 연마율을 제어하는 방법에 있어서, 연마부에서 발생되는 적외선을 측정할 수 있는 센서와 그리고 적외선빔을 발생시켜 연마부에 적외선빔을 조사하여 국부적으로 연마부의 온도를 상승시킬 수 있는 온도 제어수단으로서 적외선 발생장치 및 반사 조절장치를 포함하고 있는 온도 제어수단에 의해, 연마 중에 연마되는 연마부의 온도를 측정함과 동시에 연마부의 온도를 제어하여서 웨이퍼의 연마율을 제어하는 것을 특징으로 한다.