일반기술

반도체 공정을 이용한 충격센싱장치 및 그 제조방법

다결정실리콘으로 형성되는 충격센싱장치로써, 중심부분에 형성되는 중심전극과 중심전극에서 빔에 의하여 지지되고, 중심전극을 중심으로 원형으로배치되는 복수개의 이동평판, 이동평판 사이에 각각 배치되는 복수개의 고정평판, 이동평판은 고정평판 사이에서 떠 있는 상태로 지지되고, 충격에 의하여 고정평판과 접촉시 전류가 도통하는 것에 의하여 충격을 감지하는 것을 특징으로 한다. 그리고 이러한 충격센서는 반도체 공정을 이용하여 제조되고, MEMS기술을 이용하여 소형이면서도, xy평면 상에서 어떠한 방향으로의 충격도 신뢰성을 가지고 판별하는 것이 가능한 충격센서를 제공하는 것이 가능하게 되는 잇점을 기대할 수 있게 된다.복수개의 이동평판과 고정평판 사이의 전기적 접촉에 의하여 외부의 충격을 감지하는 것에 의하여 신뢰성 높은 충격감지가 가능하게 된다.또한 MEMS기술을 이용하는 것으로 xy 평판상에서 어떠한 방향에서의 충격도 정확하게 감지하는 것이 가능하게 된다.종래의 충격센서에 비하여 상대적으로 매우 소형이기 때문에 충격감지센서를 필요로 하는 공간에 구애되지 않고 어떠한 위치에서 설치될 수 있는 장점을 가진다.아울러, 이동평판과 고정평판 사이의 커패시턴스의 변화를 감지하도록 운영하는 것에 의하여 연속적인 가속도의 변화를 감지할 수 있는 장점도 있다.