일반기술

이중센서를 이용한 박막 측정 장치 및 방법

전해 인프로세스 연삭가공에서 숫돌의 표면에 형성되는 피막의 두께를 측정하는 장치 및 방법에 관한 것으로 수용성 전해액이 공급되면서, 가공물을 연삭하는 메탈본딩재 숫돌의 표면에 형성되는 피막을 측정하기 위하여, 정전용량형 갭센서를 이용하여, 숫돌의 표면에 형성되고 수용성 전해액이 함유된 피막까지의 간격을 측정한다. 그리고 와전류형 갭센서를 이용하여, 메탈본딩재 숫돌의 표면까지의 간격을 측정한다. 정전용량형 갭센서와 와전류형 갭센서에서 측정되는 측정값의 차이를 이용하여 피막의 두께를 측정할 수 있게 된다. 그리고 정전용량형 갭센서에는 가공물을 향한 개구부가 형성되고, 정전용량형 갭센서를 감싸는 케이싱이 설치되고, 케이싱의 내부에 압축공기를 공급하기 위한 노즐이 설치되어, 개구부를 정전용량형 갭센서를 향하여 공기를 분출하여 측정면의 물을 제거하는 것이 바람직하다.수용성 전해액이 공급되면서, 가공물을 연삭하는 메탈본딩재 숫돌의 표면에 형성되는 피막을 측정하기 위한 장치로써 숫돌의 표면에 형성되고 수용성 전해액이 함유된 피막까지의 간격을 측정하는 정전용량형 갭센서와 메탈본딩재 숫돌의 표면까지의 간격을 측정하는 와전류형 갭센서를 포함하여 구성되어 정전용량형 갭센서와 와전류형 갭센서에서 측정되는 측정값의 차이를 이용하여 피막의 두께를 측정하는 장치.