일반기술

비접촉식 표면거칠기 측정장치 및 그방법

비접촉식 표면 거칠기 측정장치 및 그 방법에 관한 것으로, 레이저빔이 측정면의 스크래치와 수직되는 방향으로 산란되는 특성을 이용한 것이다. 본 기술은 연마면이나 연삭면의 특정점이 아닌 소정 영역에 레이저빔을 조사하고, 반사되어 나오는 산란광 분포를 스크린상에 맺히게 하여 이를 CCD센서를 사용하여 읽어 들이고, 다시 디지털 신호화하여 표면 거칠기를 구하는 것이다. 이때, 스크래치와 수직되는 방향으로 산란되는 레이저빔의 특징을 이용하여 산란광 분포의 표준편차를 거칠기 산출의 매개변수로 하여 외부광원의 영향을 줄이면서 측정면의 표면 거칠기를 구한다. 이와 같은 본 기술에 의하면 측정면의 표면 거칠기를 보다 용이하면서도 정확하게 구할 수 있게 되고, 전체 장치 구성을 소형화할 수 있어 생산현장에서의 응용이 용이한 이점도 있다.레이저광을 발광하는 광원과, 광원에서 발광된 레이저광을 수평광으로 만들어 측정면의 소정 영역에 소정각도로 조사시켜 주는 광평행수단과, 측정면의 특정영역에서 반사되어 나오는 산란광의 화상이 맺혀지는 화상현상수단과, 화상현상수단에 맺혀진 산란광의 화상을 화상상태로 읽어들이는 화상인식수단과, 화상인식수단에서 읽어들인 화상을 수치화하고, 측정면의 스크래치와 수직되는 방향의 광량분포의 표준편차를 매개변수로 하여 측정면의 거칠기를 산출하는 데이터처리부를 포함하여 구성한다.