일반기술
진동형 마이크로 자이로스코프
MEMS 기술을 사용하여 이중김블(내․외부)을 정전력으로 구동하고 인가된 각속도에 비례하는 코리올리 힘에 의하여 유기되는 김블의 움직임을 정전용량 방식으로 검출하는 집적회로 크기의 마이크로 자이로스코프 기술
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 기타 전기/전자
- 보유기관
- 한국산업기술진흥원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2005-08-18
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
관련 특허
등록된 관련 특허가 없습니다.