일반기술

메탈페이스트 디스펜싱(metal paste dispensing) 방법을 이용한 가속도센서

본 발명 가속도센서 및 진동센서의 질량제조방법에 의하면 비교적 정확한 질량을 원하는 부분에 선택적으로 다량 올릴 수 있으며, 형성된 질량의 미세편차는 하이브리드집접회로(hybrid IC)출력단의 저항크기를 트리밍(trimming)할 때 완전히 보정되는 장점뿐만 아니라 집적회로 공정이나 미세 구조공정과는 독립적으로 수행될 수 있기 때문에 공정이 간편하고 양산적용에 이상적이며, 다량의 질량을 형성할 수 있고 하나의 칩위에 서로 다른 질량을 가지는 여러가지의 센서를 함께 제조하기 쉬운 공정상의 장점도 있다.본 발명은, 실리콘웨이퍼(1)를 세척한 후 압전저항(2)을 제조하고, 실리콘웨이퍼(1)전면에 질량패들(mass paddle)로써 Ni박막(3)을 증착하며, 사진식각법과 습식식각으로 Ni박막(3)을 패터닝(patterning)한 후 RTP(rapid thermal processing)방법으로 열처리하여 Ni실리사이드(3')을 형성하고, RTP방법에 의한 열처리시산화도니 Ni의 표면산화층을 NH4OH수용액으로 제거하며, Ni실리사이드(3')상에 디스펜서(dispenser)를 이용하여 메탈페이스트(4 : metal paste)를 정량올리고, 180℃∼200℃의 온도로 열처리하여 메탈페이스트(4)를 경화시키는 것을 특징으로 하는 메탈페이스트 디스펜싱(metal paste dispensing)방법을 이용한 가속도센서 및 진동센서의 질량제조방법에 관한 것이다.