일반기술

선택적인 금속도금법을 이용한 가속도센서 및 진동센서의 질량제조방법

본 발명의 진동질량 제조방법에 의하면 정확한 질량을 원하는 부분에 선택적으로 용이하게 전기도금할 수 있고, 하이브리드 IC(hybrid IC) 출력단의 저항 크기를 트리밍(triming) 할 때 완전히 보정될 수 있는 장점 뿐만 아니라, 질량형성부분의 크기를 리소그라피(lithography)방법으로 정의할 수 있기 때문에 하나의 칩 위에 서로 다른 질량을 가지는 여러가지 센서를 함께 제조하기 편리한 공정상의 장점이 있다. 따라서 선택적인 금속도금법을 이용한 가속도센서 및 진동센서의 질량제조방법은 아주 유용한 기술로 활용되어 질것이다.본발명은, 세척한 실리콘기판(1)상에 Ni막을 증착시킨 후 포토레지스트를 도포하여 Ni패턴(2)을 정의한 후 RTP(rapid thermal processing)방법으로 어닐링(anealing)하여 니켈실리사이드(3)를 형성하며, 이어 스핀온형(spin-on type) 포토레지스트(photo-resist)(4)로 질량패들(mass paddle) 영역을 정의한 다음 하드베이크(hard bake)한 후 상기 포토레지스트(4) 위에 2차에 걸쳐 드라이 필름 포토레지스트(5,6)를 형성하여 질량패들영역을 정의하며, 계속하여 상기 니켈 실리사이드(3)상의 니켈산화층을 NH4OH등으로 제거한 후 금속도금 장치를 이용하여 전해 혹은 무전해 전기도금방법에 의한 밀도와 두께의 정확한 제어하에 니켈전기도금으로 진동질량(7)을 형성하여 다층 드라이 필름 포토레지스트(5,6)와 포지포토레지스터(4)를 제거함으로써 원하는 부분에 정확한 질량을 선택적으로 용이하게 형성시킬 수 있고 하나의 칩 위에 서로 다른 질량을 가지는 여러가지 센서를 함께 제조하기에 편리한 것을 특징으로 하는 선택적인 금속도금법을 이용한 가속도센서 및 진동센서의 질량제조방법에 관한 것이다.