일반기술

실리콘 가속도 센서의 제조방법

*원리 및 구성실리콘 가속 센서의 제조 방법에 관한 것으로서, 마스크 패턴에, 메스의 높이를 C로 했을 때, 메스의 각변이 일치하는 네 귀퉁이의 모서리 점에 각 변의 폭이 메스 높이의 두배의 폭을 가지는 사각형의 보상 패턴을 그 중점을 C에 대해 10퍼센트 이내의 범위 내에서 상기 모서리 점에 일치시키고, 상기 보상 패턴의 각 변의 폭을 2C로 결정하도록 한다.*개발배경유효한 보상 구조에 의해 KOH 식각 수용액에 의한 메스의 모서리에 있어서의 언더컷팅을 억제 할 수 있는 가속도 센서의 제조 방법을 제공함에 있다.*중요성 및 독창성가해진 가속도 g에 대한 출력 전압 특성은 0∼8g 의 낮은 질량(g)에서 약 0.8mV/9V·g 출력을 갖는 감도 좋은 선형특성을 나타내고 있다.*응용분야본 기술은 진동, 충격, 가속도 등의 물리량을 전기적 신호로 감지하는 센서인 실리콘 가속도 센서에 응용가능하며, 이 가속도 센서는 자동차, 비행기, 선박 등 각종 수송 수단, 그리고 공장 자동화 및 로봇 등의 제어 시스템에 있어서 필수적인 소자이고, 그 소자의 적용 및 활용 분야의 가능성은 무한하다.*특징 및 장점-메스의 정량화와 가속도에 따른 저항변화의 측정 등에 대한 연구가 보완된다면 보다 특성이 우수한 압저항형 가속도 센서를 제조할 수 있는 것으로 기대된다.