일반기술

자성 유체(Magnetic Fluid)를 이용한 구동기 및 연동펌프 개발

고부가가치를 가진 MEMS의 의료 응용분야 중 LOC (Lab On a Chip)의 핵심 기술이 되는 마이크로 펌프 적용을 목적으로 새로운 재료인 자성유체를 선택하여 자성유체의 특성을 측정하고 자성유체를 구동원으로 이용한 연동펌프를 개발하였다. 그리고, 자성유체를 이용하여 7~62.5nl 수준의 유량을 제어할 수 있는 마이크로 피펫을 제작하여 구동 특성을 파악하였다.기존의 Actuator의 구동 방식과 다른 자성 유체를 이용한 구동기 개발과 이를 이용한 Valveless 연동 구동 Micro pump이다. 자성 유체는 인가된 자기장에 따라 액체에서 액상과 Gel이 혼합된 상태로 천이하게 되고, 유체 자체의 Elastic Modulus를 갖게 되므로, 이는 곧 유체 제어 시스템에서 밸브와 같은 역할을 할 수 있다. 아울러, 이러한 성질을 이용하여 연동형 펌프를 제작하여 공정 단계가 대폭 줄어들게 된다. 또한, 연동형 구조이므로 유체 이송시 양방향 제어가 가능하므로, Feedback System 제작에 용이하다.