일반기술

상압플라즈마를 이용한 초소수성처리기술

소수성은 물을 멀리하는 성질이다. 일반적으로 소수성의 척도로서 접촉각을 주로 사용하는데, 접촉각이 90도 이상이면 소수성, 150도 이상이면 초소수성이라 한다.1. 연구배경- 초소형 또는 마이크로 이하단위의 부품등에서 신뢰성있는 기능성 부품의 절실히 요구- 미시세계에서는 Particle, 반데르 발스 힘, adhesion, 모세관효과, 표면장력, 마찰, 수증기, 세균등이 핵심적인 기술요인으로 등장.- MEMS를 주축으로 하여 2000년대에 들어와서 초소수성에 대한 관심이 폭발적으로 증가. - IT, NT, BT등의 미세구조기능들을 구현하기 위한 핵심요소기술 2. 초소수성의 역할- 표면에너지를 극단적으로 최소화 시킴- particle, 표면장력, 모세관 효과 adhesion,마찰, 수증기, 세균등의 표면과의 물리적 및 화학 반응을 최소화. 3. 에스피에스 기술- 세계최초로 대기압 플라즈마에 의한 고품질의 초소수성 나노박막(20nm이하)의 구현- 기존의 초소수성처리 방법의 여러 가지 제약을 동시에 뛰어 넘어섬- 단시간, 단일공정, 재현성, 생산성, 자동화등에서 산업화 할 수 있는 기술토대를 구축.A. 세계최초 상압플라즈마 초소수성구현- 상압플라즈마 단독공정에 의해 구현B. 무진공, In-line 시스템, 대량생산 -> 가격경쟁력 월등.C. 처리시간기준 타기술에 비해 최소 10배～100 이상 단축- 초소수성 처리시간 : 10초 D. 초소수성 박막두께 : 20nm 이하(광학적용 50nm이하에 필수)E. 처리면적 : 4, 6, 8, 12inch wafer의 면적 쉽게처리 가능F. 표면거칠기 : 기존초소수성 이론을 재검토할 정도의 낮은 표면거칠기를 갖음(SEM사진으로 표면거칠기 확인이 안됨)G. 유지시간 : 10000 Class clean room 기준 : 6개월 이상H. 상압 PECVD의 새로운 분야를 개척 : 진공에 비해 균일한 박막을 얻을수 있음을 세계최초로 증명.