일반기술

박막형 ＮＴＣ 써미스터 제조방법

*원리 및 구성본 장치는 상온∼800℃의 넓은 온도범위에서도 NTC 써미스터로 사용될 만큼 우수한 센서 특성을 나타내고, 기존의 벌크형 YCrO 3 계 NTC 써미스터를 Y 1-X Ca X CrO 3 박막형으로 제조하여 주변 환경에 대한 의존성이 적고, 저온(800℃)에서 고밀도소재로 성장시켜, 높은 소결온도(1700℃)로 인한 Cr의 휘발 문제를 해결하였다.*개발배경마이크로 일렉트로닉스 분야 기술이 급속히 진보함에 따라 기존의 벌크형 NTC 써미스터를 대체할 수 있는 박막형 NTC 써미스터로 개발된 SiC 박막형 써미스터는 감지특성과 재현성, 그리고 화학적 안정성 및 가격 경쟁력 면에서 만족스럽지 못하였다. 따라서 고온, 광대역, 박막형 NTC 써미스터로서 열적, 전기적, 화학적 및 구조적 안정성을 가지는 YCrO 3 가 제시되었으나, 소결 처리 중에 Cr 이 휘발되어 높은 소결밀도와 전기전도도를 얻기가 힘들었다.*중요성 및 독창성본 기술은 박막증착용 YCrO 3 을 형성한 다음, 스퍼터링 공정을 이용하여 실리콘 웨이퍼에 YCrO 3 박막을 형성하고, 그 박막을 이용하여 고온, 광대역, 박막형 NTC 써미스터를 제조하는 방법과 관련된 기술이다. 따라서 넓은 온도 범위에서도 우수한 센서 특성을 가지며, 주변 환경에 대한 의존성이 적으며, 높은 소결온도로 인한 Cr의 휘발문제를 해결하였다. 또한 소형화가 가능하여 생산단가를 낮추고, 초미세부품에 적합하며, 소비전력을 대폭 줄이는 효과가 있다*적용제품본 기술의 박막형 NTC 써미스터는 열적, 전기적, 화학적 및 구조적 안정성을 가지므로, 이동 통신용 단말기, 수정발진기의 칩 NTC 등의 이동 통신부품, 노트북 피시, 카메라 일체형 브이티알, 온도보상용 써미스터 등에 광범위하게 활용될 수 있다.*특징 및 장점- 넓은 온도 범위에서도 센서 특성이 우수하다.- 열적, 전기적, 화학적 및 구조적 안정성이 우수하다.- 환경에 대한 의존성이 적어 안정적이다.- Cr의 휘발문제를 해결하여 높은 소결밀도와 전기전도도를 얻을 수 있다.- 기존의 박막형 NTC 써미스터와 비교하여 생산단가를 낮었다.- 다양한 초미세 부품에 적용할 수 있어 활용 범위도 넓다.