일반기술

플라즈마 디스플레이 패널용 패터닝 장치 및 패터닝 방법

본 발명은, 글라스기판 상에 전극, 격벽, 유전막, 형광체 등의 패턴을 형성하기 위한 플라즈마 디스플레이 패널(Plasma Display Panel)용 패터닝 장치 및 패터닝 방법에 관한 것이다. 마스크는 패터닝 물질을 수용하는 패터닝 헤드와 글라스기판 사이에 설치되며, 레저버에 수용된 패터닝물질은 표면탄성파 또는 정전기 유도 방출 분사방식으로 패터닝 마스크의 분사홀을 통해 글라스 기판상에 패터닝 된다.(기술의 응용범위) 본 기술을 이용할 경우 디스플레이용 전극, 격벽, 유전막, 형광체 등을 간단하고 빠르게 패터닝 함과 동시에 정밀하게 패터닝 할 수 있다. 본 기술은 디스플레이 패널용 제작에 적용할 수 있는 마이크로 패터닝 기술이다. 종래의 반도체 공정에서는 높은 장비 비용과 엄격한 환경으로 인해 제작에 어려움이 많이 있다. 반면 본 기술에서 제안한 정전기 유도 방출 방법을 이용할 경우 상온에서 바로 마이크로/나노 급의 패터닝이 가능하며, 장비 또한 매우 단순한 장점이 있다. 정전기 유도 방출기술은 잉크젯 프린터처림 선택적으로 패터닝 가능함으로 임의형상을 패턴닝 할 수 있을 뿐 아니라, 멀티 헤드를 사용할 경우 대면적 고속 패터닝도 가능하다. (기술의 사업성) 국.내외 디스플레이 시장이 매년 기하급수적으로 급증하고 있으며, 마이크로/나노 구조물 제작, 바이오 칩 제작 등에 적용 가능함으로 잠재 시장이 매우 크다고 할 수 있다.