일반기술

감이온 전계효과 트랜지스터 pH센서를 이용한 이온센서 및 그 제조방법

본 발명은 이온센서 및 그 제조방법에 관한 것으로서, 실리콘기판과 소스, 드레인, 실리콘산화막, 실리콘질화막, 알루미늄금속전극 및 이온감지막으로 구성된 전계효과 트랜지스터형 이온센서에 있어서, 이온감지막이 친유성 고분자박막 위에 감지물질을 포함한 친수성 고분자 감지막을 형성시켜 이중막 구조를 갖도록 한 구성으로, 낮은 감도 및 수용액 내에 측정대상 이온만큼 존재하는 수소이온에 대한 감응을 감이온 전계효과 트랜지스터 pH센서(pH-ISFET)바탕소자 위에 친유성의 고분자로 절연 방수막을 형성하여 방지하였을 뿐만 아니라 친수성인 고분자를 외부의 감지막으로 사용함으로서 수용액인 피측정액의 확산속도를 증가시켜 감응시간을 단축함과 더불어 감도를 향상시킬 수 있는 장점이 있는 감이온 전계효과 트랜지스터 pH센서를 이용한 이온센서 및 그 제조방법이다.일반적으로 체액 중에 포함되어 있는 이온(칼슘, 칼륨, 나트륨등)들은 생체내의 대사 및 조절기능과 관련이 있는 것이기 때문에 이들 이온들의 측정은 의료진단 분야에서 매우 중요하다.지금까지는 분광광도법이나 원자 흡수분광법 및 전극법 등을 사용하여 체액중 이온들의 농도를 측정하여 왔으나, 이들 측정방법은 측정장치가 크기 때문에 혈액시료를 많이 필요하게 된다고 하는 결점뿐만 아니라 혈액시료를 전처리하는 과정에서 시간이 오래 걸린다고 하는 문제점이 있다.