일반기술

폭발성가스 검지용 후막형 반도체 가스 센서어레이 및 그 제조방법

*원리 및 구성후막형 반도체 가스 센서어레이 및 그 제조방법에 관한 기술로서, 폭발성 가스검지용 후막형 반도체 가스 센서어레이는 백금페이스트를 이용해서 알루미나기판(1)의 앞면에다 실크 스크린프린팅하여 다수의 전극(3)을 형성하고, 알루미나기판(1)의 뒷면에는 전극(3)이 위치한 부분에 걸쳐 형성된 꼬인구조를 갖는 히터(2)를 형성하되 다수의 전극(3)상에 각각 상이한 감지물질(4)을 형성하도록 구성된 다종의 폭발성가스 검지용 후막형 반도체 가스 센서어레이이다. 이때, 감지물질(4)은 SnO2 +Pt, SnO 2 +Au, SnO 2 +Pd, SnO 2 +Pt+Pd, SnO 2 +CuO, SnO2 +La2 O3 , SnO2 +Sc2 O3 , SnO2+TiO2 , SnO2+WO3 , SnO2 +ZnO이고, 이들 중 백금(Pt), 금(Au), 팔라듐(Pd), 산화구리(CuO), 산화란탄(La 2 O3 ), 산화스칸듐(Sc2 O3 ), 산화티탄(TiO2 ), 산화텅스텐(WO3 ), 산화아연(ZnO) 각각은 0.1 내지 5wt%의 양으로 함유되며, 각 전극(3)에는 은페이스트(5)를 이용하여 핀(6)이 고정되도록 한다.*개발배경주변 소자 히터의 온도편차로 생기는 열적영향 및 공간적 외란을 제거하고, 센서의 공간적 분리로인하여 측정대상 가스의 공간적 불균일 또는 미소한 가스의 와류에 의한 센서신호의 변동 가능성을 배제하며, 안정하고 높은 감도를 가지면서 제작상의 공정이 용이한 선택성을 갖는 폭발성가스 검지용 후막형 반도체 가스 센서어레이와 그 제조방법을 제공함에 있다.*중요성 및 독창성후막형 반도체 가스 센서어레이 구조를 갖음으로써 폭발성가스(부탄, 프로판, 메탄 등)를 선택적으로 인식 및 정량화할 수 있는 장점이 있다.*응용분야본 기술은 폭발성 가스검지용 후막형 반도체 가스 센서 제조방법으로 응용가능하다.*특징 및 장점-단일 가스센서가 갖고 있는 다른 종류의 폭발성가스에 대한 선택성의 결핍과 시간에 따른 신호변동으로 생기는 경보기나 계측기의 성능저하 및 오동작을 제거할 수 있다.-폭발성가스(부탄, 프로판, 메탄)를 선택적으로 인식 및 정량화 하는데 사용하는 폭발성 가스 검지용 후막형 반도체 가스 센서어레이 및 그 제조방법을 제공함에 장점이 있다.