일반기술

선택적인 금속도금법(Electro-Plating Method)을 이용한 가속도센서 및 진동센서의 질량제조 방법

본 발명은 질량의 제조방법에 관한 것으로서, 금속실리사이드를 이용하여 시리콘기판과 진동질량층 사이의 접착력을 개선하고, 전기 도금시 심각한 장애가 되는 포토레지스트 찌꺼기(scum)을 제거하기 위하여 스핀온형(spin-on type)포토레지스트(photo-resist)와 드라이 필름 포토레지스트(dry filim photo-resist)를 다층으로 형성시켜 선택적으로 금속을 전기도금(Electro-Plating)함으로써 원하는 부분에 정확한 질량을 선택적으로 용이하게 제조할 수 있고 하나의 칩위에 서로 다른 질량을 가지는 여러가지 센서를 함께 제조하기에 편리한 것을 특징으로 하는 선택적인 금속도금법을 이용한 가속도 센서 및 진동 센서의 질량제조방법이다.본 발명은 가속도센서나 진동센서의 사이즈믹프루프-매스(seismic proof-mass)를 제조하는 방법에 관한 것으로서, 특히 포토레지스트를 이용한 리소그라피(lithography)방법으로 필요부분에만 선택적으로 진동질량을 정량 전기도금하는 선택적인 금속도금법(Electro-Plating Method)을 이용한 가속도센서 및 진동센서의 질량제조방법에 관한 것이다. 가속도센서나 진동센서의 진동질량을 부가하는 기존의 방법으로는 다음과 같은 3가지 방법이 사용되고 있다. 첫째로는 기판자체를 3차원적으로 식각하여 자체 질량을 이용하는 방법이며, 이는 여러단계에 걸친 장시간의 식각공정이 요구되므로 공정이 복잡하고 양산시에 질량의 균질성을 확보하기 어렵다고 하는 결점이 있다. 둘째로는 Au, Pt 등과 같이 무거운 금속을 증착하는 방법이 있으나 이는 무거운 진동질량을 제조하기 어렵고 두꺼운 금속의 식각에도 문제가 있다. 셋째로 금속판을 가공하여 융착하는 방법도 있으나 이 방법은 정밀도 확보다 어려운 뿐만 아니라 대량생산에도 문제점이 많다.