일반기술

중이 이식형 보청기용 트랜스듀서의 진동소자 제작방법 및그에 의해 제작된 진동소자

*원리 및 구성중이 이식형 보청기용 트랜스듀서의 진동소자에 관한 것으로서, 본 기술에 따름 진동소자는 다음과 같은 제조 공법에 의해 형성된다.1)P-type 100인 300㎛ 두께로 양면에 표면가공된 실리콘 웨이퍼(21)를 준비하고,2)실리콘 웨이퍼의 뒷면에 테오스(TEOS)를 형성하고,3)실리콘 웨이퍼의 양면에 폴리머를 코팅하고 경화시키며,4)실리콘 웨이퍼에 진동 박막과 테오스를 식각하기 위한 마스크로 이용하기 위해 양면에 패턴을 형성하고,5)실리콘 웨이퍼의 뒷면에 폴리머패턴을 마스크로 이용하여 테오스를 식각하며,6)실리콘 웨이퍼에 식각된 테오스패턴을 마스크로 이용하여 실리콘 웨이퍼를 식각하여 이루어진다.*개발배경반도체공정을 이용하여 일정한 크기, 특성 및 성능을 가지는 진동소자를 대량으로 제작이 가능하여 균일한 진동성능을 가지는 진동 트랜스듀서를 제작이 가능함은 물론, 진동소자의 빔의 두께와 폭을 조절하여 트랜스듀서의 진동특성을 조절할 수 있어 귀 내부의 중이의 진동특성과 유사한 진동 특성을 가지는 중이 이식형 보청기용 트랜스듀서의 진동소자 제작방법 및 그에 의해 제작된 진동소자를 제공함에 있다.*중요성 및 독창성반도체공정을 이용하여 일정한 크기, 특성 및 성능을 가지는 진동소자를 대량으로 제작이 가능하여 균일한 진동성능을 가지는 진동 트랜스듀서를 제작이 가능하다.*응용분야진동소자의 빔의 두께와 폭을 조절하여 트랜스듀서의 진동특성을 조절할 수 있어 귀 내부의 중이의 진동특성과 유사한 진동 특성을 가지는 중이 이식형 보청기용 트랜스듀서의 진동소자 등에 응용이 가능하다.*특징 및 장점-반도체공정을 이용하여 일정한 크기, 특성 및 성능을 가지는 진동소자를 대량으로 제작이 가능하여 균일한 진동성능을 가지는 진동 트랜스듀서를 제작이 가능함은 물론, 진동소자의 빔의 두께와 폭을 조절하여 트랜스듀서의 진동특성을 조절할 수 있어 귀 내부의 중이의 진동특성과 유사한 진동 특성을 가지는 효과가 있다.