일반기술

클린 부스 장치

외부와 차단되어 소정의 밀폐된 공간을 이루는 부스와, 상기 부스는 그 내부에 설치된 차단막에 의해 상층부와 하층부로 구분되어지며, 상기 상층부에는 외부로부터 공기를 흡입하여 상기 부스내에 공급하는 동시에 이 공기를 상기 부스내에서 강제 순환시키는 팬 모터와 상기 부스내에 흡입된 공기의 불순물을 걸러주는 필터가 설치되어 있는 클린부스장치에 있어서, 상기 하층부는 차단막에 의해 차단되어 각각 별개의 독립ㄷ한공간을 이루는 제1독립분실 및 제2독립분실로 이루어진 것을 특징으로 하는 클린부스장치.본 발명의 클린부스장치에 있어서, 상기 제1독립분실 및 제2독립분실의 상기 상층부와 접하는 차단막의 각 중앙부에는 상기 필터에 의해 걸러진 공기를 상기 제1독립분실 및 제2독립분실로 각각 분사시켜주는 공기 분사장치가 설치되어 있는 것이 바람직하며, 상기 제1독립분실의 분사장치는 상기 제2독립분실의 분사장치보다 공기를 분사하는 그 세기가 강한 것이 바람직하다. 그리고, 상기 제1독립분실 및 제2독립분실의 각 일측에는 외부로부터의 공기흐름을 방지하기 위한 외부공기 유입 차단수단이 설치되어 있는 것이 바람직하며, 또한 상기 제1독립분실 및 제2독립분실 사이의 차단막 하부 중앙부에는 상기 제1독립분실 및 제2독립분실로 유입되어 배출되는 공기를 걸러주는 필터가 설치되는 것이 바람직하다.

기술정보

기술분류
기계 > 기타 기계
보유기관
삼성전자(주)
기술유형
일반기술
등록일
2006-03-06
데이터 갱신일
정보 없음

상세설명

정보 없음

관련 특허

등록된 관련 특허가 없습니다.