일반기술
공기 베어링 제조 방법
본 발명은 브이 씨 알(VCR)의 헤드(head Drum) 등을 구동시키는 데 사용되는 공기 베어링의 제조 방법에 관한 것으로서, 소요의 형상으로 가공된 소재를 형상 정밀도 및 표면 거칠기를 향상시킬 수 있도록 가공하는 래핑 및 폴리싱 단계와, 상기 래핑 및 폴리싱 단계를 거친 소재의 표면에 나선형의 공기홈을 습식 에칭방법으로 가공하는 에칭 단계와, 소재의 표면에 내 마모성이 향상되도록 소정 두께의 TiN막을 형성시키는 TiN 코팅 단계와, 상기 코팅 단계를 거친 소재의 표면을 윤활성이 향상되도록 소정 두께의 DLC 코닝막을 형성시키는 DLC코팅 단계로 이루어지는 것을 특징으로 하여, 에칭 기술을 이용하여 양산가능하게 되고, 또한 코팅막을 균일케 암과 동시에 얇게 가공할 수 있게 됨으로써 제품의 가공 시간 및 비용을 절감할 수 있어 생산성 및 경제성을 향상시키는 효과가 있다.소요의 형상으로 가공된 소재를 형상 정밀도 및 표면 거칠기를 향상시킬 수 있도록 가공하는 래핑 및 폴리싱 단계와, 상기 래핑 및 폴리싱 단계를 거친 소재의 표면에 나선형의 공기홈을 습식 에칭 방법으로 가공하는 에칭 단계와, 소재의 표면에 내마모성이 향상되도록 소정 두께의 TiN 막을 형성시키는 TiN 코팅 단계와, 상기 코팅 단계를 거친 소재의 표면을 윤활성이 향상되도록 소정 두께의 DLC 코팅막을 형성시키는 DLC 코팅 단계로 이루어지는 것을 특징으로 하는 공기 베어링 제조 방법.
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 기타 전기/전자
- 보유기관
- 삼성전자(주)
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2006-03-15
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
관련 특허
등록된 관련 특허가 없습니다.