일반기술

반도체-웨이퍼 운반용 로봇의 안전 제어 방법

본 발명은 반도체-웨이퍼(Semiconductor-Wafer) 운반용 로봇(Robot)의 제어방법에 관한 것으로서, 목표위치의 좌표값을 설정하는 제1단계; 팔과 손목의 현재 자세를 감지하는 제2단계; 상기 목표위치에 대하여 현재 위치를 보정하는 제3단계;상기 목표위치에 대한 각 관절의 위치값을 계산하는 제4단계; 상기 위치값이 소정의 위험영역에 손한지를 확인하난 제5단계; 상기 결합값이 상기 위험영역에 속하지 않으면 관절부를 제어하는 제6의 1단계; 및 상기 위치값이 상기 위험영역에 속하면 손목의 자세를 반전시킨 후 상기 제3단계부터 반복 실행하는 제6의 2단계; 를 포함한 것을 그 특징으로 하여, 사전에 위험영역을 추정(Simulation)하여 확인할 필요가 없고, 동작속도를 그대로 유지하면서 전자동으로 위험형역에 대처할수 있다.목표위치의 좌표값을 설정하는 제1단계; 팔과 손목의 현재 자세를 감지하는 제2단계; 상기 목표위치에 대하여 현재 위치를 보정하는 제3단계; 상기 목표위치에 대한 각 관절의 위치값을 계산하는 제4단계; 상기 위치값이 소정의 위험영역에 속한지를 확인하는 제5단계; 상기 결합값이 상기 위험영역에 속하지 않으면 관절부를 제어하는 제6의 1단계; 및 상기 위치값이 상기 위험영역에 속하면 자세를 반전시킨 후 상기 제3단계부터 반복 실행하는 제6의 2단계; 를 포함한 것을 그 특징으로 하는 반도체-웨이퍼 운반용 로봇의 안전 제어방법.