일반기술

모아레 현상을 이용한 2차원 미소변위 측정장치 및 방법

본 기술은 평면내에서 운동하는 물체의 2차원 미소변위 측정장치 및 방법에 관한 것으로, 특히 2개의 격자에 의하여 변위의 크기와 방향을 측정함으로써 운동하는 물체 미소변위를 2차원으로 측정할 수 있는 2차원 미소변위 측정장치 및 방법에 관한 것이며, 1쌍의 격자로 2차원변위를 측정할 수 있는 장점을 가지게 되며, 또한 피치가 다른 두 동심원간의 모아레무늬 형성시의 고유한 특성을 이용하여 이미지 프로세싱(Image proceessing)으로 측정 분해능을 개선시킬 수 있는 우수한 효과를 갖는다.본 기술의 특징은 모아레 현상을 이용하여 2차원 미소변위를 측정하는 2차원 미소변위 측정장치에 있어서, 광원에서 나온 빛의 열을 흡수하는 열 흡수 수단과 열 흡수 수단을 통과하여 나온 빛을 전달하는 광 전달 수단, 광 전달 수단에서 나온 빛을 집속하는 제1집속 수단, 제1집속 수단에서 나온 빛의 경로를 소정 각도로 전환시키는 광 분리 수단, 광 분리 수단에서 나온 빛을 집속하는 제1집속 수단, 제2집속 수단에서 나온 빛을 받는 이동체상의 이동격자, 제2집속 수단을 통하여 이동격자에 실상이 맺혀지며, 이동격자의 실상과 겹쳐져 모아레 무늬를 형성시키는 기준격자 및 모아레 무늬가 형성된 이동격자와 기준격자의 겹쳐진 허상을 대안렌즈를 통하여 포착하는 촬영수단을 포함하여 이루어진 2차원 미소변위 측정장치를 그 특징으로 한다.