일반기술

광학창교체장치가구비된광화학기상증착장치및광학창교체방법

본 기술은 광학창 교체장치가 구비된 광화학기상증착장치 및 광학창 교체방법에 관한 것이다. 좀더 구체적으로, 본 기술은 광화학기상증착장치의 반응실 내에서 광화학기상증착 반응시 반응가스의 분해에 의해 생성된 물질 또는 증착에 사용된 물질의 부착에 의해 흐려진 광학창을 반응실의 내부를 대기에 노출시키지 않으면서 세정된 광학창으로 교체할 수 있는 광학창 교체장치가 구비된 광화학기상증착장치 및 전기한 광학창 교체장치를 사용하여 photo-CVD 장치의 광학창을 교체하는 방법에 관한 것이다.본 기술의 광학창 교체장치가 구비된 photo-CVD 장치 및 광학창 교체방법은 photo-CVD 장치의 증착공정 중 반응생성물 및 반응가스의 부착에 의해 흐려진 광학창을 반응실의 내부를 반영구적으로 대기에 노출시키지 않으면서 기계적인 방식에 의해 세정된 광학창으로 교체할 수 있고, 분진발생의 우려가 없어 반응실의 청정상태를 유지할 수 있다. 또한, 광학창과 반응실과의 진공밀폐를 효과적으로 유지할 수 있고, 부가적인 식각가스에 의한 반응실의 오염 및 반응가스에 대한 악영향을 방지할 수 있을 뿐만 아니라, 넓은면적의 박막증착에도 효과적으로 사용될 수 있다는 것이 확인되었다.