일반기술

전기광학폴리머광도파로편광무의존광변조기및그제작방법

본 기술은 45°전장 폴링을 이용한 전기광학 폴리머 광 도파로 편광 무의존 광 변조기 및 그 제작방법에 관한 것이다.전기광학 폴리머를 재료로 하여 TE 및 TM 모드를 동일하게 도파시키는 채널 광 도파로를 산소 반응 이온 식각공정으로 제작하고, 전장 폴링 공정을 통하여 광 도파로의 산소 반응 이온 식각공정으로 제작한다. 그리고, 전장 폴링 공정을 통하여 광 도파로의 광축을 기판 면에 대하여 반시계방향으로 45°,시계방향으로 45°로 형성시킬 수 있는 길이가 동일한 두 종류의 전극을 직렬로 연결하여 입력광의 편광상태에 무관하게 동작하도록 제작한다.본 기술에서 제안된 변조기는 기존에 제안된 편광 무의존 전기광학 폴리머 광 변조기에 비해 다음과 같은 장점을 갖는다.첫째, 전극이 진행파형으로 설계가 가능하기 때문에 고속 변조기로 응용할 수 있다.둘째, 전극 구조가 간단하여 길이가 짧아질 수 있다.편광 의존성이 없는 전기광학 광강도 변조기에 대한 필요성이 점차 증가함에 따라 본 기술과 같은 편광 무의존 전기광학 광강도 변조기의 수요도 크게 증가할 것이다.또한 본 기술은 진행파형으로 설계가 가능하므로 고속 광 변조기를 제작하는데 유리하다.