일반기술

고체촬상소자검사장치

고체촬상소자를 검사하기 위하여 고체촬상소자를 집어 이동시키는 핸드가 개선된 고체촬상소자 검사장치에 관한 것으로, 로보트를 이용하여 고체촬상소자를 검사소켓에 삽입하고 촬상경면을 닦아 검사할 수 있는 핸드가 개선된 고체촬상소자 검사장치를 제공하기 위하여, 고체촬상소자의 촬상경면을 닦는 닦게가 부착된 닦게대와 고체촬상소자를 선택적으로 집을 수 있도록 로보트의 핑거에 홈과, 돌출부를 형성하였다. 일반적으로 고체촬상소자를 검사하기 위하여 운반 또는 적재할 때에는 다른 반도체 소자와는 달리 고체촬상소자의 촬상경면에 손상을 주지 않도록 해야 되며, 이물질이 부착되지 않도록 주의해야 한다.고체촬상소자를 검사하는 검사소켓과, 상기 고체촬상소자의 촬상경면을 닦는 닦게가 부착된 닦게대와, 상기 고체촬상소자와 닦게대를 선택적으로 집는 핸드와, 상기 핸드를 소정의 위치에서 다른 소정의 위치로 이동시키는 이동수단을 구비하는 고체촬상소자 검사장치에 있어서, 상기 핸드에 설치되어 상기 닦게대를 집는 적어도 2개의 핑거와, 상기 닦게대가 삽입되어 상기 핑거에 의하여 견고하게 집히도록 상기 핑거에 형성된 홈과, 상기 핑거의 하단부에 돌출되어 상기 고체촬상소자의 측면과 접촉되어 상기 고체촬상소자를 집는 돌출부를 구비하는 것을 특징으로 하는 고체촬상소자 검사장치.