일반기술

냉음극형 이온화 게이지

본 발명은 냉음극형 이온화 게이지에 관한 것이다. 이것은 선형적 회로에서 검출하기가 어려운 극소전류를 로그 증폭 회로를 이용하여 감지하는 냉음극형 이온화 게이지에 포함되는 고전압 발생 및 출력 전류 감지기를 제공하는 것이다. 본 발명에 따른 냉음극형 이온화 게이지에 포함되는 고전압 발생 및 출력 전류 감지기는 고전압을 출력하는 배전압부, 배전압부에 인입되는 출력 전압을 조절하는 출력 전압 조정부 및 배전압부에 연결되어, 출력 전류를 감지하는 출력 전류 감지부를 포함하되, 감지되는 출력 전류는 진공도를 측정하는 데 사용되는 것을 특징으로 한다. .본 발명은 냉음극형 이온화 게이지에 관한 것으로, 종래의 기술에서 발견되었던 정밀도와 정량성이 떨어지는 문제점을 해결하기 위해서 본 발명에 따른 냉음극형 이온화 게이지에 포함되는 고전압 발생 및 출력 전류 감지기는 고전압을 출력하는 배전압부, 배전압부에 인입되는 출력 전압을 조절하는 출력 전압 조정부 및 배전압부에 연결되어, 출력 전류를 감지하는 출력 전류 감지부를 포함하되, 감지되는 출력 전류는 진공도를 측정하는 데 사용되는 것을 특징으로 한다.