일반기술

할로겐 램프를 이용하여 baking하는 이온펌프

본 고안은 초고 진공 및 극고 진공으로 배기 할 수 있는 이온펌프에 관한 것이다. 본 이온펌프는 할로겐 램프에서 발생되는 고열을 이용하여 깨끗하고 간편하게 baking 할 수 있는 이온 펌프에 관한 것으로, 할로겐 램프를 가열원으로 하여 이온펌프 본체 내부에서 직접 가열할 경우 종래의 가열기를 별도로 설치하지 않고도 급속 가열 및 빠른 온도 유지로 baking이 가능하므로 이용효율을 향상시키고, magnet 감자 효과를 방지한다.본 고안은 초고 진공 및 극고 진공으로 배기 할 수 있는 이온펌프에 관한 것이다.기존의 이온펌프는 heating plate 또는 heating wire등을 가열원으로 하여 내부에서 직접 가열하면 가열원으로부터 나오는 많은 out gassig 방출을 억제해야 하는 문제점이 제기되었다. 본 고안은 기존의 이온펌프 본체 외벽에 heating plate 및 heating wire등의 가열 장치를 적용하지 않고 이온 펌프 본체 내에 본 고안의 할로겐 램프를 내삽시켜 가열하도록 구성된 것이다.