일반기술

교류형 플라즈마 디스플레이 패널 소자용 보호코팅층 재료

본 기술은 수소 함유량이 천연 다이아몬드 수준으로 억제되고 sp3 함량이 높은 DLC 박막으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 교류형 플라즈마 디스플레이 패널의 보호코팅층 재료에 관한 것이다.함량이 높은 X-B-N 박막으로 이루어지는 교류형 플라즈마 디스플레이 패널의 보호코팅층 재료 및 이온빔 도움 증착법 및 세슘 이온 건 스퍼터링 증착법을 이용한 재료의 증착 방법을 제공한다. 본 기술은 교류형 플라즈마 디스플레이 패널 소자용 보호코팅층 재료에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 보호코팅층에 요구되는 내스퍼터링성, 광투과성 및 이차전자 방출계수를 더욱 향상시킨 것이다.수소 함유량이 천연 다이아몬드 수준으로 억제되고 sp3 함량이 높은 DLC 박막과, 수소 함유량이 천연 다이아몬드 수준으로 억제되고, Si, Ge 및 Ti 중 어느 하나인 X가 첨가됨으로써, sp3 함량이 높은 X-DLC 박막과, 수소 함유량이 천연 다이아몬드 수준으로 억제되고, Si, Ge 및 Ti 중 어느 하나인 X가 첨가됨으로써, sp3 함량이 높은 X-C-N 박막과, 수소 함유량이 천연 다이아몬드 수준으로 억제되고, Si, Ge 및 Ti 중 어느 하나인 X가 첨가됨으로써, sp3 함량이 높은 X-B-N 박막으로 이루어지는 교류형 플라즈마 디스플레이 패널의 보호코팅층 재료 및 이온빔 도움 증착법 및 세슘 이온 건 스퍼터링 증착법을 이용한 상기 재료의 증착 방법을 제공한다.