일반기술

2차원 광변조 미세 개구 어레이 장치 및 이를 이용한 고속미세패턴 기록시스템

X축과 Y축으로 배열된 광량조절셀을 이용하여 입사하는 광량을 조절하는 공간 광변조부, X축과 Y축으로 배열된 마이크로 렌즈를 이용하여 광량조절셀을 통과한 광을 집속시키는 마이크로 렌즈 어레이, 마이크로 렌즈의 초점 거리를 두께로 하며 마이크로 렌즈 어레이에 접합되어 광을 투과시키는 기판 및 기판에 금속 박막을 입히고, 마이크로 렌즈에 의해 집속된 광을 통과시키는 개구를 상기 금속 박막에 X축과 Y축으로 배열시켜 이루어진 개구 어레이를 포함하는 2차원 광변조 미세 개구 어레이 장치.미세간격으로 형성된 다수의 개구를 통해 스캐닝함으로써, 단일 나노 프로브를 이용하는 종래에 비하여 고속으로 미세 패턴을 기록할 수가 있으며, 어레이 된 개구의 수를 증가시킬수록 기록 속도가 증가하고, 개구의 수를 x, y 축으로 1000개 이상 배열하게 되면 100만배 이상 고속으로 미세패턴을 기록할 수가 있다.청색 및 근 자외선 영역의 레이저 광원을 사용하고 액정 및 마이크로 렌즈의 크기를 수십 nm의 나노 패턴을 형성하는 것이 가능하다.2차원 광변조 미세 개구 어레이 장치 및 이를 이용한 고속 미세패턴 기록시스템에 관한 것으로 2차원으로 어레이된 광량조절셀(액정 셀 또는 마이크로 거울 등)을 이용하여 입사하는 광량을 조절하는 공간 광변조부와 X축과 Y축으로 배열된 마이크로 렌즈를 이용하여 광량조절셀을 통과한 광을 집속시키는 마이크로 렌즈 어레이와, 마이크로 렌즈의 초점 거리를 두께로 하며 마이크로 렌즈 어레이에 접합되어 광을 투과시키는 기판과 기판에 금속 박막을 입히고, 마이크로 렌즈에 의해 집속된 광을 통과시키는 개구를 금속 박막에 X축과 Y축으로 배열시켜 이루어진 마이크로 렌즈 어레이를 포함하여 2차원 광변조 미세 개구 어레이를 형성한다. 그리고, 2차원 광변조 미세 개구 어레이에 광원부, 광전송부와 평행광 생성렌즈에 의해 생성된 광을 조사하여 미세 개구를 통해 광이 출력되게 하고, 이렇게 개구를 통해 조사된 광이 2차원 평면에 스캐닝되도록 X축과 Y축 방향으로 이동하는 스캔 장치를 구비하여 미세 패턴을 고속으로 기록한다.