일반기술

접합에스오우아이웨이퍼 제조 방법

* 원리 및 개요본 기술은 접합 SOI 웨이퍼 제조방법에 관한 것이다. 특히, 접합 SOI 웨이퍼의 평탄도 및 두께 편차를 줄이고 접합된 단결정 실리콘 사이의 결함발생을 방지하기 위한 것이다. *중요성1) 완성시의 크기보다 큰 원판상의 단결정 실리콘에 각각 산화막을 형성하고, 상기 산화막을 서로 접합하여 단결정 실리콘을 접합한다.2) 접합된 단결정 실리콘의 상면을 매끈하게 하게 할때 먼저, 그 가장자리를 단일의 곡면으로 매끈하게 처리하면서 완성시의 직경이 되도록 하여 접합 SOI 웨이퍼를 제조한다.*특징 및 장점1) 각각 산화막이 형성된 원판상의 단결정 실리콘을 완성시의 직경보다 큰 직경을 가지도록 제조하는 단결정실리콘제조단계2) 단결정 실리콘을 세정하여 건조하는 세정단계3) 제조된 단결정 실리콘의 상기 산화막을 서로 맞대어 접합하는 접합단계4) 접합된 상태의 단결정실리콘을 접합계면에서 발생하는 버블(bullbe)의 성장압력보다 큰 압력으로 단결정 실리콘을 가압하여 열처리를 하는 열처리단계5) 접합되어 열처리된 단결정실리콘의 중심에 연삭숫돌의 실제가공면의 중심이 오도록 하여 단결정 실리콘과 연삭숫돌이 동일방향으로 회전하도록 하면서 단결정 실리콘을 연삭하고 연마하는 가공단계*효과두 개의 단결정 실리콘을 접합하는 것과 접합된 단결정 실리콘을 가공하여 하나의 접합 SOI 웨이퍼를 만들기 위한 공정에서 결함이나 손상의 발생이 줄어들게 되어 SOI 웨이퍼를 제조하는 수율이 좋아지고 품질이 균일하게 되는 효과를 얻을 수 있다.