일반기술

광부품 검사장치

본 기술은 서로 다른 파장의 광을 조사하는 다수개의 광원, 다수개의 광원에서 조사된 광을 소정 비율로 분할하는 광분할기, 광분할기에 의해 분할된 제1광이 피검 부품을 경유하여 광분할기로 반사 되도록 하는 제1반사경, 광분할기에 의해 분할된 제2광이 제1광과 다른 경로로 진행되어 상기 광분할기로 반사 되도록 하는 제2반사경, 제1광과 제2광이 간섭되어 생긴 간섭무늬를 촬영하는 고체촬상소자, 간섭무늬를 분석하여 피검 부품의 광학적 특성을 알아내는 파면 분석기를 포함한다.다수개의 광원, 광원으로부터 출사된 광을 분할하여 서로 다른 광경로로 진행되도록 하는 광분할기, 광분할기에 의해 분할된 광이 간섭을 일으켜 생긴 무늬를 촬영하는 고체촬상소자를 포함하고, 피검 부품에 대해 파장, 입사광의 입사각, 광세기, 온도 등을 변화시키면서 이 변화에 따른 광학적 특성을 검사하도록 된 것을 특징으로 한다. 위의 구성으로 피검 부품에 대한 외부조건을 다양하게 변화시키면서 그 변화에 따른 특성을 정밀하게 검사할 수 있다.